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    MEMS熱式流量傳感器及其應用

    2022-11-21 13:58:03

    流量這一參數是工業生產過程、科學實驗計量等多領域所必須測量的重要參數。用于流量測量的流量傳感器品種非常多,在微電子技術、計算機技術和通信網絡技術的融入下,也在不斷推陳出新。


    其中熱式流量傳感器為流量計量帶來了一場革命,實現了直接測量流體質量流量的目的。熱式質量流量傳感器能夠利用比較簡單的構造來準確地測量工藝氣體的質量流量,因此廣泛地普及在醫療、汽車、食品等氣體監控和測量領域擁也有廣泛的應用。


    近年來,隨著對微電子機械系統(MEMS)的深入研究和取得的進展,傳統的工業和流體力學研究的流量傳感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向發展,利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質進行流量監測的流量傳感器已成為重要研究方向。


     


    煒盛科技自主研發的微流量傳感器于2012年即成功面世并取得相關專利,同時我們還參與起草了《JB/T 13111-2017 熱式質量流量傳感器》的行業標準。


    2022年,在原有的MEMS熱式微流量傳感器基礎上,升級推出FR03/FR03H/FR06/FR20新款流量傳感器,采用低壓損設計,廣泛用于各類氣體流量測量。


     


    微流量傳感器是利用熱力學原理對流道中的氣體介質進行流量檢測,具有很好的精度與重復性。在工業生產、科學實驗、產品質量把控、生產效率提高、能源節約等方面發揮著重要作用。

     


    流量傳感器在醫療領域,如:醫院病床供氧、樓層管道供氧以及呼吸機、制氧機、麻醉機中有廣泛的應用。


     


    流量傳感器在空氣采樣器、打火機自動調火設備這類工業過程控制、空氣和環境保護領域也有應用。


     


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